氣體混合配氣設(shè)備SSGM是成都松盛測(cè)控自主研發(fā)的高精度動(dòng)態(tài)氣體混合/稀釋裝置,核心基于熱式氣體質(zhì)量流量控制器(MFC)與PLC智能控制,實(shí)現(xiàn)多組分氣體按設(shè)定濃度、流量在線動(dòng)態(tài)配比,即混即用、均勻穩(wěn)定,廣泛用于科研、環(huán)保、半導(dǎo)體、新能源、化工等領(lǐng)域。

一、核心原理
采用動(dòng)態(tài)氣體混合法:多路氣源經(jīng)316L不銹鋼氣路進(jìn)入,由高精度 MFC 精確控制各路流量,經(jīng)壓力平衡與混合腔均勻混合后輸出;配比不受溫度/壓力波動(dòng)影響,實(shí)時(shí)生成濃度/流量曲線,保證混合氣均勻性與復(fù)現(xiàn)性。
二、關(guān)鍵特點(diǎn)
高精度配比:流量控制精度 ±0.5% F.S,重復(fù)性 ±0.2%F.S,稀釋精度優(yōu)于±1%;稀釋范圍10~10000 倍(定制可達(dá) 5000 倍)。
多組分兼容:支持 2~8 路氣體(如 CO、NO?、VOCs、H?S、Cl?等),適配惰性、腐蝕性、有毒氣體;氣路全 316L 不銹鋼 + 防吸附處理,泄漏率 **<1×10??Pa?m3/s。
智能全自動(dòng):7 寸觸摸屏 + PLC 控制,一鍵設(shè)定濃度/流量/壓力,自動(dòng)調(diào)閥、控壓、穩(wěn)流;支持預(yù)設(shè)程序、多級(jí)稀釋、梯度配比,可保存/調(diào)用配方。
遠(yuǎn)程監(jiān)控:標(biāo)配 RS485 / 以太網(wǎng),可選WiFi 無(wú)線,電腦遠(yuǎn)程實(shí)時(shí)監(jiān)控、數(shù)據(jù)記錄、曲線導(dǎo)出,適配實(shí)驗(yàn)室與自動(dòng)化產(chǎn)線。
寬量程覆蓋:流量輸出0.5mL/min~1000L/min,壓力常壓~10MPa(定制超高壓),滿足從微量到工業(yè)級(jí)配氣需求。


