成都松盛測(cè)控技術(shù)有限公司生產(chǎn)和銷售的半導(dǎo)體行業(yè)使用的熱式氣體質(zhì)量流量控制器(MFC)是芯片制造中的核心設(shè)備,用于精確控制工藝氣體的流量,氣體質(zhì)量流量的精準(zhǔn)控制是能夠直接影響芯片的良率和性能?。氣體流量控制器其核心功能是通過(guò)傳感器實(shí)時(shí)測(cè)量氣體流量,并自動(dòng)調(diào)節(jié)閥門,將流量穩(wěn)定在設(shè)定值。

本公司數(shù)字型和模擬型的產(chǎn)品采用全新的進(jìn)口傳感技術(shù)以及高精度的機(jī)械加工技術(shù),能實(shí)現(xiàn)微小流量測(cè)量和控制,其特點(diǎn)是可靠性高、重復(fù)性好,壓損小,無(wú)可動(dòng)部件,量程比寬,響應(yīng)時(shí)間較快,測(cè)量精度高,無(wú)需要溫度壓力補(bǔ)償,廣泛應(yīng)用于輕工化工環(huán)保及半導(dǎo)體等工業(yè)部門的空氣、氧氣、氬氣、氮?dú)獾葰怏w的檢測(cè)和控制。

本產(chǎn)品結(jié)合國(guó)外先進(jìn)技術(shù),采用新型傳感制作工藝,具有響應(yīng)速度快、準(zhǔn)確度高、流量控制穩(wěn)定、壓力范圍寬、線性度好等優(yōu)點(diǎn),適用于絕大多數(shù)干燥、干凈的氣體(及少數(shù)腐蝕性氣體)。一般配套顯示儀表使用,用戶在訂購(gòu)產(chǎn)品時(shí),本公司已將顯示儀表按照使用量程調(diào)整設(shè)置,在用戶現(xiàn)場(chǎng)直接使用即可,還可一表多用,具體使用方法,可以咨詢本公司的工作人員。



