成都松盛測控技術有限公司銷售的氣體質量流量控制器是以熱式為原理的,因其功能的不同,又分別稱為熱式氣體質量流量控制器MFC和熱式氣體質量流量計MFM。
常規(guī)的MFC在出廠的時候,是用氮氣標定的,那么在使用到其他種類的氣體時,應該怎么樣來轉換氣體種類以及不同氣體的氣體轉換系數(shù)是怎么樣的呢?

單一種類氣體的轉換方法:用氮氣標定的氣體質量流量控制器顯示出來的流量讀數(shù),與實際使用的氣體可以通過轉換系數(shù)進行換算,算出被使用氣體的流量,與系數(shù)相乘,即可得到被測氣體在標準狀態(tài)下的實際流量。轉換公式:實際氣體流量=氣體顯示讀數(shù)*實際流入氣體系數(shù)/標定氣體系數(shù)。

對于多種不同濃度的混合氣體:轉換公式:混合氣轉換系數(shù)=100/【(P1/第一種氣體系數(shù))+(P2/第一種氣體系數(shù))+(P3/第一種氣體系數(shù))】
每個廠家在對氣體流量系數(shù)轉換表的換算關系不同,因為關于氣體流量系數(shù)轉換表可參考每個廠家的說明。


