四氟化碳又名四氟甲烷，是一種比較少見的無機化合物。主要用于各種集成電路的等離子刻蝕工藝，也用作激光氣體、低溫制冷劑、溶劑、潤滑劑、絕緣材料、紅外檢波管的冷卻劑。

   AC-S030C系列的四氟化碳質(zhì)量流量控制器，能準確的控制氣體的質(zhì)量流量，和其他種類的氣體作為低溫冷卻劑，它可用于電路板的制造，以及制造絕緣物質(zhì)和半導(dǎo)體，在PE CVD爐上廣泛使用。

   松盛測控的質(zhì)量流量控制器和流量計的過流閥體均采用316L不銹鋼的材質(zhì)，穩(wěn)定性好，接觸各種氣體時很少會發(fā)生反應(yīng)，故是適用于絕大多數(shù)的氣體。在使用低濃度氣體時，用戶在訂貨時需特殊說明一下，本公司會根據(jù)實際使用，來選擇相對應(yīng)的密封材質(zhì)，從而達到更好的適配性。即使是低濃度的氣體，在通過流量計的時候，也是不會有吸附或干擾性的。

   能給用戶提供單一的熱式氣體質(zhì)量流量控制器或流量計以外，還能為用戶提供成套的氣體設(shè)備，能按照用戶使用要求將一個或多個流量控制器與壓力傳感器、電磁閥、單向閥、過濾器、混合室或其他要求的模塊組合在一起，實現(xiàn)高端的非標定制功能。