成都松盛測(cè)控的熱式氣體質(zhì)量流量控制器可以控制5sccm——1500slm范圍內(nèi)的氣體流量。能用來測(cè)量單一氣體的結(jié)構(gòu)，緊湊的氣體質(zhì)量流量計(jì)和控制器能用來測(cè)量和控制多種氣體高度集成的定制閥組。主要的技術(shù)優(yōu)點(diǎn)：基于熱式毛細(xì)管技術(shù)，模塊化的設(shè)計(jì)；極其緊湊的尺寸；高精度，線性和重復(fù)性穩(wěn)定；快速響應(yīng)時(shí)間；多種氣體/多量程范圍可選。

   熱式氣體質(zhì)量流量控制器和流量計(jì)的優(yōu)點(diǎn)很多，舉幾個(gè)常接觸到的例子：1.對(duì)于大多數(shù)的流量測(cè)控系統(tǒng)和普通流量計(jì)而言，壓力、環(huán)境、溫度的波動(dòng)以及介質(zhì)的變化將導(dǎo)致較大的誤差；而對(duì)于質(zhì)量流量控制器/質(zhì)量流量計(jì)，則一般可以忽略不計(jì)。2.熱式氣體質(zhì)量流量控制器可以對(duì)于不同介質(zhì)精確地控制氣體的給定量，這對(duì)很多工藝過程的流量比例控制等特別有用。3.質(zhì)量流量控制器和質(zhì)量流量計(jì)也有很寬的工作壓力范圍，成都松盛測(cè)控技術(shù)有限公司推出的流量控制器和流量計(jì)可以從真空直到10MPa; 可以適用于多種氣體介質(zhì)，如常規(guī)氣體氫氣、氧氣氮?dú)獾?，稀有氣體氦氣、氬氣等，也包括一些腐蝕性氣體氯化氫等；有很寬的流量范圍，我們的產(chǎn)品最小流量范圍可達(dá)0～5 sccm，最大流量范圍可達(dá)1500 slm。流量精度可達(dá)滿量程的±1.0%, 流量控制范圍是滿量程的2~100% (量程比為-- 50:1), 因此在很多領(lǐng)域得到廣泛應(yīng)用。