熱式氣體質(zhì)量流量控制器的主要特點(diǎn)為：能控制氣體的質(zhì)量流量包括微小流量，控制的氣體的流量數(shù)值不受溫度和壓力的影響！隨著電子陶瓷行業(yè)的快速發(fā)展，質(zhì)量流量控制器在陶瓷材料的生產(chǎn)中，也扮演著十分重要的角色！新型電子陶瓷材料具有各種優(yōu)良的物理和化學(xué)特性，使其在航空航天、機(jī)械工程、汽車(chē)零部件、軍亊、生物醫(yī)療等領(lǐng)域也得到了廣泛應(yīng)用。

   電子陶瓷是指應(yīng)用于電子工業(yè)中制備各種電子元器件的陶瓷材料，是采用人工精制的無(wú)機(jī)粉末為原料，通過(guò)結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)、精確的化學(xué)計(jì)量、合適的成型方法和燒成制度而達(dá)到特定的性能，經(jīng)過(guò)加工處理使之符合使用要求尺寸精度的無(wú)機(jī)非金屬材料。

   控制電子陶瓷的相關(guān)流量、壓力等條件的優(yōu)先選擇是基于熱式氣體質(zhì)量流量測(cè)量技術(shù)的儀表。該原理質(zhì)量流量控制器可實(shí)現(xiàn)寬量程比、高精度、高重復(fù)性好的流體檢測(cè)和控制，能達(dá)到這一要求和目的，主要是有以下幾點(diǎn)：

     1、質(zhì)量流量控制器通過(guò)PID控制的比例閥門(mén)，響應(yīng)快速、控制準(zhǔn)

     2、對(duì)H2、N2、O2和其他氣體進(jìn)行更靈活的混合和比例進(jìn)樣控制

     3、數(shù)據(jù)傳輸形式多樣，自動(dòng)化集成度高，可拓展性強(qiáng)

     4、無(wú)易損件，方便拆卸和后期設(shè)備維護(hù)