熱式氣體質量流量控制器是質量流量控制器（Mass Flow Controller 縮寫為 MFC)用于對氣體的質量流量進行精密測量和控制，是一款通過PID調節(jié)閥門大小開度來進行控制氣體流量大小的專用閥門。

   熱式流量計采用熱擴散原理，熱擴散技術是一種在苛刻條件下性能優(yōu)良。熱式流量計有兩個溫度傳感器被置于介質中時，其中一個傳感器被加熱到環(huán)境溫度以上的溫度，另一個溫度傳感器用于感應介質溫度。耐壓是指熱式氣體質量流量控制器能承受的壓力值是多少，簡而言之是指在多大壓力范圍之內(nèi)使用不會損壞產(chǎn)品。工作壓差是指在使用時，流量控制器的進氣端和出氣端的壓力兩兩相減的數(shù)值差。

   松盛測控全線系列的氣體質量流量計和流量控制器是在20℃，1個大氣壓條件下標定的，主要是指氣體在1分鐘的體積流量單位。產(chǎn)品精度優(yōu)于±1%F.S，響應速度優(yōu)于2秒且流量值穩(wěn)定速度也是極快的。閥體過流材質均選用品質良好的316L不銹鋼。供電方式為+15V—24V的寬頻供電，能滿足市面上絕大多數(shù)用戶的使用要求和使用習慣。DB9針的電氣接頭，也方便了用戶在使用時的拆裝。緊湊而堅固的儀器設計，為連續(xù)質量流量測量確保了重復性，用途非常廣泛，可用于許多不同的行業(yè)和應用。安裝位置以及安裝方向對質量流量的檢測無任何影響，即可隨意安裝且無直管段要求。