熱式氣體質(zhì)量流量控制器和質(zhì)量流量計(jì)，根據(jù)它的信號傳輸模式可以分為：模擬型和數(shù)字型兩種。國產(chǎn)的產(chǎn)品中，模擬型分為電壓（0-5V或0-10V，每個(gè)廠家與廠家之間可能會有稍微的差異）和電流（4-20mA或0-20mA）；數(shù)字型的主要還是市場上傳統(tǒng)的RS485 modbus協(xié)議或RS232 （國外的產(chǎn)品還可選perfnet或是總線方式）。用戶主要是通過采集數(shù)據(jù)信號，來進(jìn)行氣體流量的檢測，以及設(shè)定數(shù)據(jù)信號值，來達(dá)到調(diào)節(jié)和開啟截止閥門的開度，從而控制氣體的流量。

     熱式流量計(jì)是基于熱擴(kuò)散原理而設(shè)計(jì)的流量儀表。即利用流體流過發(fā)熱物體時(shí)，發(fā)熱物體的熱量散失多少與流體的流量呈一定的比例關(guān)系。該系列流量計(jì)的傳感器有兩只標(biāo)準(zhǔn)級的RTD，一只用來做熱源，一只用來測量流體溫度，當(dāng)流體流動時(shí)，兩者之間的溫度差與流量的大小成線性關(guān)系，再通過微電子控制技術(shù)，將這種關(guān)系轉(zhuǎn)換為測量流量信號的線性輸出。熱式流量計(jì)傳感器包含兩個(gè)傳感元件，一個(gè)速度傳感器和一個(gè)溫度傳感器。它們自動地補(bǔ)償和校正氣體溫度變化。儀表的電加熱部分將速度傳感器加熱到高于工況溫度的某一個(gè)定值，使速度傳感器和測量工況溫度的傳感器之間形成恒定溫差。當(dāng)保持溫差不變時(shí)，電加熱消耗的能量，也可以說熱消散值，與流過氣體的質(zhì)量流量成正比，它適合單一氣體和固定比例多組份氣體的測量。