熱式氣體質(zhì)量流量控制器簡(jiǎn)稱MFC（Mass Flow Controller），熱式氣體質(zhì)量流量計(jì)簡(jiǎn)稱MFM（Mass Flow Meter），MFC是帶有控制氣體質(zhì)量流量的裝置，而MFM是不具有控制氣體質(zhì)量流量功能的裝置。

      目前國(guó)內(nèi)使用最為廣泛的是熱式氣體質(zhì)量流量控制器即MFC，熱式氣體質(zhì)量流量控制器的主要原理是：在直徑較細(xì)的感應(yīng)管中放置兩對(duì)加熱器，并將其控制在同一溫度。當(dāng)流體流動(dòng)時(shí)，氣體將上游的部分熱量帶給下游，而下游的加熱器從上方獲取熱量溫度上升。這時(shí)，利用上下加熱器之間產(chǎn)生的溫度差和流體的質(zhì)量流量成比例的原理，來(lái)測(cè)定流量。熱式流量計(jì)傳感器包含兩個(gè)傳感元件，一個(gè)速度傳感器和一個(gè)溫度傳感器。它們自動(dòng)地補(bǔ)償和校正氣體溫度變化。儀表的電加熱部分將速度傳感器加熱到高于工況溫度的某一個(gè)定值，使速度傳感器和測(cè)量工況溫度的傳感器之間形成恒定溫差。當(dāng)保持溫差不變時(shí)，電加熱消耗的能量，也可以說(shuō)熱消散值，與流過(guò)氣體的質(zhì)量流量成正比，它適合單一氣體和固定比例多組份氣體的測(cè)量。

      成都松盛測(cè)控生產(chǎn)的熱式氣體質(zhì)量流量控制器與質(zhì)量流量計(jì)能使用于：Air, O2, N2, He, Ar, CO2, H2, CH4, C3H8, N2O, SF6, C3H6, CO, C4H10等絕大多數(shù)氣體。主要用于：石油化工、半導(dǎo)體行業(yè)、氣體分配系統(tǒng)、燃料電池、實(shí)驗(yàn)室氣體檢測(cè)，具有體積小、數(shù)字化程度高、安裝方便，測(cè)量準(zhǔn)確等優(yōu)點(diǎn)。