模擬型和數(shù)字型的熱式氣體質(zhì)量流量控制器主要是通過(guò)0-5V、4-20mA信號(hào)或RS485 modbus協(xié)議，來(lái)進(jìn)行數(shù)據(jù)通信，目前在PE CVD真空設(shè)備中使用，等離子體增強(qiáng)化學(xué)的氣相沉積法。這種方法有很多優(yōu)點(diǎn)，比如成膜質(zhì)量好等。PECVD比普通CVD進(jìn)行化學(xué)氣相沉積速率高、均勻性好、一致性和穩(wěn)定性高。PECVD：是借助微波或射頻等使含有薄膜成分原子的氣體電離，在局部形成等離子體，而等離子體化學(xué)活性很。

     熱式流量計(jì)傳感器包含兩個(gè)傳感元件，一個(gè)速度傳感器和一個(gè)溫度傳感器。它們自動(dòng)地補(bǔ)償和校正氣體溫度變化。儀表的電加熱部分將速度傳感器加熱到高于工況溫度的某一個(gè)定值，使速度傳感器和測(cè)量工況溫度的傳感器之間形成恒定溫差。當(dāng)保持溫差不變時(shí)，電加熱消耗的能量，也可以說(shuō)熱消散值，與流過(guò)氣體的質(zhì)量流量成正比，它適合單一氣體和固定比例多組份氣體的測(cè)量。

     本公司的質(zhì)量流量控制器和質(zhì)量流量計(jì)具有響應(yīng)速度快，穩(wěn)定性能優(yōu)越、準(zhǔn)確度高、優(yōu)良的耐腐蝕性，寬壓力范圍、線性度出色。目前使用在電子工藝設(shè)備，如擴(kuò)散、外延、氧化、CVD、等離子刻蝕、濺射、離子注入；以及鍍膜設(shè)備、光纖熔煉、微反應(yīng)裝置、混氣配氣系統(tǒng)、催化裝置、毛細(xì)管測(cè)量、氣相色譜儀及其他分析儀器等行業(yè)中。