熱式氣體質(zhì)量流量控制器一般用氮?dú)鈽?biāo)定,本質(zhì)量流量控制器/流量計(jì)出廠通常用氮?dú)?N2)標(biāo)定。如果要求用使用氣體標(biāo)定,需要在訂貨時(shí)與銷售人員特別申明。用氮?dú)鈽?biāo)定的流量控制器用戶使用其它氣體時(shí),可以通過本公司說明書的附錄表轉(zhuǎn)換系數(shù)進(jìn)行換算。

質(zhì)量流量控制器/流量計(jì)由流量傳感器、分流器通道、流量放大電路、調(diào)節(jié)閥、PID 控制電路以及外部接頭、外殼組成。產(chǎn)品的工作原理為:氣體質(zhì)量流量控制器/流量計(jì)采用毛細(xì)管傳熱溫差量熱法原理測(cè)量氣體的質(zhì)量流量(無需溫度壓力補(bǔ)償),將傳感器加熱電橋測(cè)得的流量信號(hào)送入放大器放大,放大后的流量檢測(cè)電壓與設(shè)定電壓進(jìn)行比較,再將差值信號(hào)放大后去控制調(diào)節(jié)閥門,閉環(huán)控制流過通道的流量使之與設(shè)定的流量相等,分流器決定主通道的流量。

松盛測(cè)控的AC和DC系列的氣體質(zhì)量流量計(jì)和流量控制器是在20℃,1個(gè)大氣壓條件下標(biāo)定的,主要是指氣體在1分鐘的體積流量單位。根據(jù)產(chǎn)品性能特點(diǎn)氣體質(zhì)量流量計(jì)多用于氣密性測(cè)試、氣體檢測(cè)儀、空氣檢測(cè)、半導(dǎo)體設(shè)備等氣體流量檢測(cè)行業(yè)和生產(chǎn)。熱式氣體質(zhì)量流量控制器多用于氣體動(dòng)態(tài)配比裝置、環(huán)境檢測(cè)、真空鍍膜、航空航天、光伏行業(yè)、精密半導(dǎo)體、燃料電池、氣調(diào)儲(chǔ)存保鮮相關(guān)設(shè)備、生物反應(yīng)器、生物過程控制器、食品及制藥產(chǎn)業(yè)、氣相色譜儀等相關(guān)行業(yè)。



