熱式氣體質量流量控制器與其他流量計的區(qū)別在于：熱式原理的產品可自動化集成度更高、產品精度好、穩(wěn)定性和重復性都是優(yōu)于市面上其他類型的流量控制器。實際使用中發(fā)現(xiàn)，當輸入的氣體不同時控制顯示的數(shù)值與實際不符，其實原因很簡單，因為在MFC行業(yè)中，有一種參數(shù)叫CF，即氣體轉換系數(shù)（下面簡稱CF）。而MFC行業(yè)中又把N2（氮氣）定義為標準氣體M。N2的CF值為1.00，其他的氣體以氮氣為中心，分布在0.1到1.4左右。

     熱式流量計是基于熱擴散原理而設計的流量儀表，即利用流體流過發(fā)熱物體時，發(fā)熱物體的熱量散失多少與流體的流量呈一定的比例關系。該系列流量計的傳感器有兩只標準級的RTD，一只用來做熱源，一只用來測量流體溫度。當流體流動時，兩者之間的溫度差與流量的大小成線性關系，再通過微電子控制技術，將這種關系轉換為測量流量信號的線性輸出。閥體過流材質均采用不銹鋼制成。

     在半導體和集成電路工業(yè)、特種材料學科、化學工業(yè)、石油工業(yè)、醫(yī)藥、環(huán)保和真空等多種領域的科研和生產中有著重要的作用。其典型的應用場合包括：電子工藝設備，如擴散、外延、氧化、CVD、等離子刻蝕、濺射、離子注入；以及鍍膜設備、光纖熔煉、微反應裝置、混氣配氣系統(tǒng)、催化裝置、毛細管測量、氣相色譜儀及其他分析儀器。